1、污染物質濃度水平
待處理有機廢氣的有機濃度是影響選擇廢氣處理系統(tǒng)的主要因素。直燃式氧化器可以處理各種濃度的碳氫化合物，從十億分之一的濃度水平到純碳氫化合物蒸汽。如果有機廢氣濃度超過25%，應特別考慮采取措施防止氧化劑回火廢氣來源。這種處理大濃度范圍的彈性能力的代價是這種氧化劑的高燃料成本。
蓄熱式和熱回收式的氧化器都將待處理有機廢氣的濃度限制在25%以下，對于蓄熱式系統(tǒng)，這一限制是由于熱失控的風險。對于熱回收式系統(tǒng)，是怕熱回收裝置損壞。解決辦法可以是將空氣混入有機廢氣中，以減少濃度或進行更多的熱回收。
2、有機廢氣排放流量
如果待處理的有機廢氣流量低于5000Nm3/h，蓄熱式系統(tǒng)（RTO）一般不適用。這是因為，與熱回收式焚燒系統(tǒng)相比，蓄熱式氧化器的較高成本通常不足以抵消其在節(jié)省燃料和電力消耗方面的優(yōu)勢。當流量大于5000Nm3/h時，熱回收熱力焚燒系統(tǒng)會產(chǎn)生很高的燃料成本，具有嚴重的經(jīng)濟劣勢。但如果工藝需要大量熱能，可以使用二次熱回收鍋來抵消高昂的燃料成本，另一種是應急系統(tǒng)，每年很少運行，需要處理大流量廢氣。
3、有機廢氣的排氣溫度
如果待處理有機廢氣的溫度在300℃以上，則不適合使用蓄熱式系統(tǒng)（RTO），因為待處理有機廢氣的高溫會大大減少換向閥的可靠性和使用壽命；此外，在如此高的溫度下，構建RTO的高成本不足以抵消節(jié)省燃料和電力消耗帶來的好處。如果待處理的有機廢氣溫度超過500℃，使用熱回收式焚燒系統(tǒng)比直接式焚燒系統(tǒng)更好，因為燃料消耗的差異太小，無法抵消增加的熱回收器帶來的投資成本。
4、污染物質的類型
當有機廢氣中含有高濃度的可轉化有機酸的物質（如氯、氟、硫和鹵素）時必須特別小心，這會對設備造成嚴重腐蝕或毒害催化劑。
5、微粒排放的水平
當有機廢氣含有微小顆粒時，要特別小心。例如，當廢氣中含有油性顆粒時，它們會聚集在管道和氧化劑的較冷部分，因此需要經(jīng)常清洗該設備。
